2．項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1項(xiàng)目概況
青海黃河公司太陽(yáng)能電池及組件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室主要進(jìn)行高效太陽(yáng)能晶硅電池制備技術(shù)開發(fā)以及高效率硅基鈣鈦礦疊層電池片技術(shù)開發(fā)和樣品制備。目前實(shí)驗(yàn)室聚焦于產(chǎn)業(yè)化大面積鈣鈦礦/晶硅疊層電池技術(shù)研究和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、器件制備，其中鈣鈦礦電池阻擋層主要采用熱原子沉積的方式完成制備，因此本次需采購(gòu)熱原子沉積ALD系統(tǒng)設(shè)備，完成功能層的制備。本項(xiàng)目主要工作范圍是采購(gòu)1臺(tái)ALD設(shè)備，實(shí)現(xiàn)納米薄膜功能層的制備。
項(xiàng)目地點(diǎn)：項(xiàng)目位于陜西省西安市國(guó)家民用航天產(chǎn)業(yè)基地東長(zhǎng)安街589號(hào)，項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)距離高速公路3km，現(xiàn)場(chǎng)道路寬闊，交通便利。
2.2招標(biāo)范圍
（1）采購(gòu)1臺(tái)ALD設(shè)備，包含隨機(jī)文件、技術(shù)資料(包括操作手冊(cè)、使用指南、維修指南或服務(wù)手冊(cè))，負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、制造、試驗(yàn)(包括工廠試驗(yàn)、出廠試驗(yàn)、交接試驗(yàn))、供貨、包裝、運(yùn)輸、現(xiàn)場(chǎng)卸貨安裝、調(diào)試及試運(yùn)行，并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)與質(zhì)量保證、售后服務(wù)、技術(shù)培訓(xùn)等。
（2）構(gòu)成設(shè)備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內(nèi)容中沒有提到，但對(duì)該設(shè)備的安全可靠運(yùn)行是必需的，也應(yīng)包括在供貨范圍及工作內(nèi)容之內(nèi)。
2.3主要配置及技術(shù)參數(shù)：
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序號(hào) |
項(xiàng)目 |
技術(shù)要求 |
備注 |
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1 |
設(shè)備功能、樣品尺寸及夾具要求 |
主要用于鈣鈦礦太陽(yáng)電池中納米及致密金屬氧化物薄膜層（SnO2/Al2O3等）的精細(xì)制備；可支持沉積樣品邊長(zhǎng)400mm*40mm或優(yōu)于，同時(shí)尺寸可向下兼容；配備一套適用硅片的夾具（可放置4片166mm*166mmm硅片/合同簽訂時(shí)商定尺寸），用于疊層電池制備中晶硅基底放置。 |
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2 |
鍍膜繞鍍范圍 |
邊緣繞鍍尺寸控制在5mm以內(nèi) |
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3 |
樣品臺(tái)加熱溫度范圍及材質(zhì) |
樣品臺(tái)加熱溫度區(qū)間為20℃至不低于200℃，溫度可調(diào)，溫度控制精度±1℃，溫度均勻性控制在±3%以內(nèi)；室溫升溫至100℃以下15分鐘以內(nèi)可以保持溫度穩(wěn)定；室溫升溫至100℃以上20分鐘以內(nèi)可以保持溫度穩(wěn)定，加熱臺(tái)材質(zhì)為不銹鋼。 |
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4 |
前驅(qū)體源數(shù)量及配置 |
3路金屬前驅(qū)體源（氧化錫、氧化鋁及1路備用熱金屬源系統(tǒng)）、1路常溫水源，源及源瓶配置齊全（要求隨機(jī)攜帶設(shè)備調(diào)試驗(yàn)收期間所需的金屬源及源瓶，備用的1路熱金屬源要求配齊管路及源瓶，類型和規(guī)格與氧化錫的源瓶和管路保持一致），同時(shí)額外配置留有管路升級(jí)空間，管路加熱控溫精度為±1℃。 |
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5 |
源載氣管路 |
含3路載氣系統(tǒng)，流量計(jì)控制，控制精度為±1%以內(nèi)；所有前驅(qū)體源管路采用EP及316L不銹鋼管路+VCR密封，并具有在線清洗功能。 |
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6 |
飽和脈沖時(shí)間 |
要求前驅(qū)體源的飽和脈沖時(shí)間控制在50ms-2s |
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7 |
真空系統(tǒng) |
整機(jī)極限真空＜1Pa，真空漏率＜5E-6Pa•L/S，配置為干泵，額定抽速≥80m³/h（滿足或者優(yōu)于以上要求）。 |
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8 |
真空測(cè)量 |
精度±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜20ms |
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9 |
薄膜均勻性 |
薄膜均勻性：在400mm×400mm尺寸的方形樣品臺(tái)表面內(nèi)平均放置9片晶圓，沉積50nm氧化錫，薄膜的片內(nèi)不均勻度≤3%（以上、下、左、右、中心9點(diǎn)為測(cè)量基準(zhǔn)，進(jìn)行膜厚測(cè)試），計(jì)算方式為：Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，單點(diǎn)膜厚最大值、最小值分別記為Umax、Umin；片間薄膜不均勻度≤3%，計(jì)算方式為：Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，單片膜厚平均值中的最大值和最小值分別記為Uavgmax、Uavgmin。 |
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10 |
薄膜折射率 |
在400mm×400mm范圍的基底（玻璃或者單拋硅片）表面生長(zhǎng)50nm薄膜，以橢偏儀測(cè)量13點(diǎn)折射率，單片片內(nèi)折射率平均值記為n，5次n的平均值記為N，SnO2的折射率n≥1.80且N-0.02≤n≤N+0.02為合格。Al2O3的折射率n≥1.58，且N-0.02≤n≤N+0.02為合格。 |
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廢氣排放 |
要求尾氣可以直接接入一般熱排，若設(shè)備需要配備尾氣處理系統(tǒng)，則需要投標(biāo)方提供 |
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12 |
工藝參數(shù) |
沉積20nm氧化錫薄膜，從放片抽真空到取片總時(shí)間≤70min |
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技術(shù)服務(wù) |
投標(biāo)人提供SnO2的制備工藝作為鈣鈦礦反式器件的阻擋層，保證招標(biāo)方在其他薄膜層制備條件不變時(shí)采用該工藝制備的SnO2在取代BCP阻擋層后鈣鈦礦器件的性能不降低。 |
注：其它未列入本表的參數(shù)應(yīng)能滿足設(shè)備安全運(yùn)行性能，并符合行業(yè)標(biāo)配參數(shù)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
2.3交貨期/工期
合同簽訂生效后3個(gè)月內(nèi)整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求）3．投標(biāo)人資格要求。
3.1投標(biāo)人基本資格要求
（1）投標(biāo)人具有獨(dú)立訂立合同的資格。
（2）投標(biāo)人經(jīng)營(yíng)狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國(guó)”（www.creditchina.gov.cn）網(wǎng)站查詢?yōu)闇?zhǔn)，沒有被列入嚴(yán)重失信主體名單），沒有處于會(huì)導(dǎo)致中標(biāo)后無(wú)法履行合同的被責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)、破產(chǎn)狀態(tài)。
（3）投標(biāo)人近36個(gè)月內(nèi)(含，自投標(biāo)截止日起往前推算)不存在騙取中標(biāo)、嚴(yán)重違約及因自身的責(zé)任而使任何合同被解除的情形。
（4）單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位不得在同一標(biāo)段投標(biāo)。
（5）投標(biāo)人沒有處于相關(guān)文件確認(rèn)的禁止投標(biāo)的范圍和處罰期內(nèi)；未被列入供應(yīng)商涉案“黑名單”。
3.2專用資格條件
（1）投標(biāo)人必須是在中華人民共和國(guó)市場(chǎng)監(jiān)管部門注冊(cè)的，具有獨(dú)立法人的光伏設(shè)備制造企業(yè)或相關(guān)設(shè)備代理企業(yè)。
（2）投標(biāo)人應(yīng)具有近5年（自投標(biāo)截止日起往前推算，以竣工驗(yàn)收時(shí)間為準(zhǔn)）完成至少2臺(tái)及以上ALD設(shè)備供貨合同業(yè)績(jī)。其中至少有1臺(tái)（該設(shè)備為與Inforlink數(shù)據(jù)庫(kù)2023或2024年晶硅電池和組件出貨量供貨排名前十的晶硅企業(yè)的供貨業(yè)績(jī)）與投標(biāo)設(shè)備為同一類型；且至少有1臺(tái)設(shè)備的有效加工幅面不小于0.72平方米?！拘杼峁┖贤瑥?fù)印件（包括合同首頁(yè)、供貨范圍、簽字頁(yè)）、竣工證明（竣工驗(yàn)收證明或業(yè)主出具的證明文件或其他有效證明資料）、發(fā)票復(fù)印件】。
（3）代理企業(yè)須提供所代理設(shè)備制造企業(yè)出具的有效授權(quán)書。同一貨物/產(chǎn)品（同一品牌、同一型號(hào)）只能有一家投標(biāo)人。如為代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商的貨物，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)，否則相關(guān)投標(biāo)均做無(wú)效處理。
（4）本項(xiàng)目授權(quán)委托代理人須為投標(biāo)方在冊(cè)人員并提供近三個(gè)月國(guó)家社保機(jī)構(gòu)出具的社保繳費(fèi)證明。
（5）不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
4．招標(biāo)文件的獲取
4.1招標(biāo)文件發(fā)售方式
本項(xiàng)目實(shí)行在線售賣招標(biāo)文件。凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于購(gòu)買招標(biāo)文件時(shí)間內(nèi)進(jìn)入報(bào)名參與購(gòu)買招標(biāo)文件，不接受現(xiàn)場(chǎng)購(gòu)買。
4.2招標(biāo)文件發(fā)售時(shí)間
2026年5月13日至2026年5月20日。